图书介绍
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- 刘正埙主编 著
- 出版社: 北京:航空工业出版社
- ISBN:7801831381
- 出版时间:2003
- 标注页数:125页
- 文件大小:24MB
- 文件页数:132页
- 主题词:激光加工;电子束加工;离子束加工
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图书目录
第1篇 激光加工1
第1章 激光技术概论1
1.1 激光的起源1
1.2 激光的应用领域1
1.3 激光在材料加工中的应用2
1.4 激光在制造技术中的应用2
第2章 激光原理和特性3
2.1 激光的产生原理3
2.2 激光的模式5
2.3 激光的特性6
第3章 激光加工常用激光器9
3.1 气体激光器9
3.2 固体激光器12
3.3 调Q技术14
3.4 激光加工机16
第4章 激光加工技术基础17
4.1 激光加工的物理过程17
4.2 激光加工的特点和应用20
4.3 安全防护22
第5章 激光加工工艺23
5.1 激光打孔23
5.2 激光切割30
5.3 激光焊接36
第6章 激光表面处理技术48
6.1 激光覆照相变硬化48
6.2 激光表面合金化49
6.3 激光冲击强化技术50
6.4 激光熔凝50
第7章 激光快速原形制造技术51
7.1 快速原形制造技术的原理51
7.2 快速原形制造技术的特点51
7.3 常用的快速原形制造工艺方法52
第2篇 电子束加工55
第8章 电子束加工的基本原理55
8.1 电子束加工的基本原理55
8.2 电子束加工的分类和特点58
第9章 电子束加工设备60
9.1 电子束精微加工机60
9.2 电子束焊机64
9.3 电子束曝光机65
第10章 电子束加工应用68
10.1 电子束打孔68
10.2 电子束焊接70
10.3 电子束曝光74
第3篇 离子束加工78
第11章 离子束加工的基本原理78
11.1 离子束加工基本原理78
11.2 离子束加工的特点80
第12章 离子束加工设备81
12.1 离子源的基本要求82
12.2 考夫曼宽束离子源82
12.3 细束离子源(双等离子体离子源)83
第13章 离子束加工的应用85
13.1 离子束刻蚀85
13.2 溅射镀膜88
13.3 离子镀92
13.4 离子注入94
第4篇 高能束加工与微机电系统98
第14章 微机电系统概述98
14.1 微机电系统起源与发展98
14.2 微机电系统制造技术100
第15章 高能束光刻技术103
15.1 准分子激光光刻技术103
15.2 电子束光刻技术106
15.3 离子束光刻技术107
第16章 高能束刻蚀技术111
16.1 激光刻蚀111
16.2 离子束刻蚀114
总习题123
参考书目125
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