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第一章 引言1

1.1 电磁波谱中的软X射线和极紫外波段1

1.2 基本的吸收和发射过程4

1.3 原子能级和允许跃迁9

1.4 电磁辐射的散射、衍射和折射17

参考文献19

第二章 极紫外和软X射线波段的辐射和散射23

2.1 麦克斯韦方程组和波动方程23

2.2 散射场的计算26

2.3 辐射功率和坡印亭定理31

2.4 散射截面34

2.5 自由电子的散射35

2.6 束缚电子的散射37

2.7 多电子原子的散射40

参考文献47

第三章 极紫外和软X射线波段电磁波的传播和折射率49

3.1 波动方程和折射率49

3.2 波传播的位相变化和吸收54

3.3 界面上的反射和折射58

3.4 软X射线与极紫外辐射的全反射60

3.5 界面的反射系数62

3.6 布儒斯特角70

3.7 近临界角附近场对有损耗介质的渗透72

3.8 δ和β的决定：Kramers-Kronig关系79

3.9 掠入射光学的应用83

3.10 周期结构增强的反射率84

参考文献84

第四章 多层干涉膜86

4.1 引言86

4.2 散射辐射的相长干涉87

4.3 多层镜反射的计算模型91

4.4 多层膜的制备94

4.5 多层膜光学的应用95

参考文献107

第五章 同步辐射111

5.1 引言112

5.2 偏转磁铁辐射的特性116

5.3 波荡器辐射的特性122

5.4 波荡器辐射：辐射功率、亮度和谐波的计算128

5.5 磁偏转参数K对谐振运动的影响164

5.6 从波荡器辐射转变到扭摆器辐射169

5.7 扭摆器辐射功率与通量174

5.8 飞秒脉冲的产生176

参考文献177

第六章 高温高密等离子体物理181

6.1 引言182

6.2 等离子体中的短程和长程相互作用184

6.3 描述等离子体的基本参数187

6.4 等离子体的微观运动学和流体描述189

6.5 数值模拟221

6.6 密度梯度：紫外和极紫外探针225

6.7 高温高密等离子体的X射线发射229

6.8 飞秒激光脉冲的高次谐波产生248

参考文献251

7.1 基本过程257

第七章 极紫外与软X射线激光257

7.2 增益265

7.3 用复合机制在类氢碳离子中产生激光269

7.4 碰撞泵浦类氖和类镍离子产生激光273

7.5 小型极紫外激光器282

参考文献286

第八章 短波长相干291

8.1 时间相干性和空间相干性的概念292

8.2 需要相干性的一些例子297

8.3 空间滤波和谱滤波300

8.4 波荡器辐射的空间滤波和时间滤波301

8.5 空间相干的极紫外和软X射线激光310

8.6 范西泰特－泽尼克定理312

8.7 用短波长产生高反衬度条纹的例子321

参考文献324

第九章 衍射光学与软X射线显微术329

9.1 引言330

9.2 菲涅耳波带片透镜335

9.3 针孔与波带片对辐射的衍射341

9.4 波带片透镜的空间分辨率348

9.5 焦深与谱带宽度352

9.6 超过瑞利极限的空间分辨：有效的角照明轮廓354

9.7 高分辨率软X射线显微术356

9.8 在生命科学上的应用359

9.9 在物理学上的应用：用于材料科学和表面科学、空间分辨率低于100nm的分析工具371

9.10 波带片制作377

参考文献388

第十章 极紫外与X射线光刻396

10.1 深紫外（DUV）及更短波长的光刻397

10.2 极紫外光刻405

10.3 X射线贴近式光刻409

参考文献414

附录420